تجهیزات اچینگ نیمه هادی تجهیزات خاصی است که برای فرآیند اچینگ در فرآیندهای نیمه هادی استفاده می شود. اچ کردن یک مرحله فرآیند کلیدی در پردازش نیمه هادی است که برای ایجاد ساختارها، الگوها یا بافت های دلخواه روی یا درون مواد نیمه هادی استفاده می شود.
طراحی و عملکرد تجهیزات اچینگ نیمه هادی برای فرآیند تولید دستگاه های نیمه هادی حیاتی است. آنها نیاز به ارائه اثرات اچ با دقت بالا، انتخابی بالا و یکنواختی بالا برای برآورده کردن الزامات فرآیندهای نیمه هادی دارند.
در تجهیزات اچینگ نیمه هادی، واشرهای آب بندی لاستیکی رایج شامل موارد زیر است:
O-ring: O-ring یک واشر آب بندی لاستیکی با مقطع دایره ای رایج است که به طور گسترده در تجهیزات اچینگ نیمه هادی استفاده می شود. عملکرد آب بندی خوب و مقاومت در برابر دمای بالا دارد و اغلب برای آب بندی اتصالات لوله، اتصالات فلنج، شیرها و سایر اجزاء استفاده می شود.
واشر تخت: واشر تخت یک واشر لاستیکی تخت است که معمولاً از لاستیک سیلیکونی یا لاستیک فلوئور ساخته می شود. اغلب برای اتصالات فلنج در تجهیزات اچینگ نیمه هادی برای رسیدن به آب بندی از طریق تماس با سطح فلنج استفاده می شود.
واشر U شکل: واشر U شکل یک واشر لاستیکی با مقطع U شکل است که برای نیازهای خاص آب بندی مناسب است. اغلب برای آب بندی پیستون ها، میله های پیستون، سیلندرها و سایر اجزاء استفاده می شود و عملکرد آب بندی و مقاومت خوبی در برابر تغییر شکل فشاری دارد.
واشر V شکل: واشر V شکل یک واشر لاستیکی با مقطع V شکل است که معمولاً برای دریچه ها و مهر و موم محور چرخان در تجهیزات اچینگ نیمه هادی استفاده می شود. از طریق تماس با سطح آب بندی به آب بندی موثری می رسد و عملکرد آب بندی و مقاومت در برابر سایش خوبی دارد.
انتخاب این واشرهای لاستیکی به الزامات خاص آب بندی، شرایط عملیاتی و ویژگی های رسانه بستگی دارد. در تجهیزات اچینگ نیمه هادی، واشرهای آب بندی باید در برابر دماهای بالا، خوردگی و مواد شیمیایی مقاوم باشند تا از آب بندی موثر و پایداری طولانی مدت اطمینان حاصل شود.
مواد لاستیکی رایج شامل لاستیک سیلیکونی، فلورو لاستیک، لاستیک نیتریل و غیره است. هنگام انتخاب یک ماده لاستیکی مناسب، دمای کار، خواص شیمیایی محیط و سازگاری با مواد دیگر را در نظر بگیرید.
هنگام استفاده از واشرهای آب بندی لاستیکی، مطمئن شوید که آنها به درستی نصب و فشرده شده اند تا اثر آب بندی خوبی داشته باشید. بازرسی منظم و تعویض واشرهای آب بندی نیز گام های مهمی در حفظ عملکرد و قابلیت اطمینان تجهیزات اچینگ نیمه هادی است.
تگ های محبوب: حلقه اچ نیمه هادی، تولید کنندگان حلقه اچ نیمه هادی چین، تامین کنندگان، کارخانه
