مهر و موم سیستم خلاء نیمه هادی

سیستم خلاء نیمه هادی یکی از تجهیزات کلیدی است که برای ساخت دستگاه های نیمه هادی استفاده می شود. این یک سیستم بسته در یک محیط بسیار تمیز و کم فشار برای جابجایی و پردازش مواد و دستگاه های نیمه هادی است.

در سیستم های خلاء نیمه هادی، به دلیل نیاز به تمیزی بالا و میزان نشتی کم، اغلب از آب بندی های لاستیکی با کارایی بالا استفاده می شود. در اینجا چند نوع معمولی درزگیر لاستیکی آورده شده است:

مهر و موم Viton (FPM): Viton یک فلورالاستومر مقاوم در برابر شیمیایی و دمای بالا است که به طور گسترده در سیستم های خلاء استفاده می شود. دارای مقاومت عالی در دمای بالا، مقاومت در برابر خوردگی و نفوذپذیری کم گاز است که آن را برای آب بندی مورد نیاز که در محیط های خلاء و دمای بالا مقاومت می کند، مناسب می کند.

مهر و موم نیتریل (NBR): نیتریل یک لاستیک مصنوعی همه منظوره است که مقاومت خوبی در برابر روغن و سایش دارد. در سیستم‌های خلاء نیمه‌رسانا، آب‌بندهای نیتریل عمدتاً در برخی از کاربردهای بدون دمای بالا و غیر خورنده، مانند اتصالات خط لوله گاز و خلاء کم استفاده می‌شوند.

مهر و موم سیلیکون (VMQ): سیلیکون یک لاستیک سیلیکونی مقاوم در برابر درجه حرارت بالا با خاصیت ارتجاعی و مقاومت در برابر حرارت است. اغلب در سیستم های خلاء نیمه هادی برای مقاومت در برابر الزامات آب بندی در محیط های با دمای بالا، مانند عملیات حرارتی، بازپخت و تمیز کردن بخار با دمای بالا استفاده می شود.

مهر و موم EPDM: EPDM یک لاستیک اتیلن پروپیلن با مقاومت اکسیداسیون خوب، مقاومت اسیدی و قلیایی است. در سیستم های خلاء نیمه هادی، آب بندی های EPDM اغلب در کاربردهای بدون دمای بالا و غیر خورنده مانند خطوط لوله انتقال گاز و خلاء کم استفاده می شود.

این مهر و موم های لاستیکی ویژگی ها و محدوده های کاربردی متفاوتی دارند. هنگام انتخاب آب بندی مناسب، عواملی مانند شرایط کاری سیستم، محدوده دما، خواص متوسط ​​و فشار مورد نیاز باید در نظر گرفته شود. علاوه بر این، به منظور اطمینان از عملکرد آب بندی، فرآیند ساخت و نصب مهر و موم نیز باید از الزامات فرآیند دقیق پیروی کند.

در سیستم های خلاء نیمه هادی، علاوه بر آب بندی های لاستیکی، اغلب از واشرهای لاستیکی برای دستیابی به آب بندی موثر استفاده می شود. در اینجا چند نوع معمولی درزگیر لاستیکی آورده شده است:

واشر O-ring: O-ring یک واشر لاستیکی با سطح مقطع دایره ای است و در سیستم های خلاء نیمه هادی کاربرد زیادی دارد. عملکرد آب بندی خوب و توانایی تغییر شکل فشاری دارد و می تواند با نیازهای مختلف آب بندی مانند اتصالات لوله، شیرها، اتصالات و غیره سازگار شود.

مهر و موم تخت: مهر و موم مسطح یک مهر و موم لاستیکی تخت است که معمولاً برای اتصالات فلنجی در سیستم های خلاء نیمه هادی استفاده می شود. از طریق تماس با سطح فلنج آب بندی می شود و معمولاً از مواد لاستیکی مقاوم در برابر مواد شیمیایی با دمای بالا مانند Viton یا سیلیکون ساخته می شود.

واشر U شکل: واشر U شکل یک واشر لاستیکی با مقطع U شکل است که برای نیازهای خاص آب بندی در سیستم های خلاء نیمه هادی مناسب است. اغلب برای آب بندی پیستون ها، میله های پیستون، سیلندرها و سایر اجزاء استفاده می شود و عملکرد آب بندی و مقاومت خوبی در برابر تغییر شکل فشاری دارد.

واشر V شکل: واشر V شکل یک واشر لاستیکی با مقطع V شکل است که معمولاً برای دریچه ها و مهر و موم محور چرخان در سیستم های خلاء نیمه هادی استفاده می شود. از طریق تماس با سطح آب بندی به آب بندی موثری می رسد و مقاومت خوبی در آب بندی و سایش دارد.

انتخاب این مهر و موم های لاستیکی بر اساس الزامات خاص آب بندی، شرایط کاری و خواص رسانه تعیین می شود. در عین حال، انتخاب مواد واشر نیز بسیار مهم است. مواد متداول مورد استفاده عبارتند از Viton، Nitrile، Silicone و غیره. انتخاب خاص باید فاکتورهایی مانند محدوده دما، مقاومت در برابر خوردگی شیمیایی و میزان نشت گاز را در نظر بگیرد. هنگام نصب واشر باید به تمیز نگه داشتن سطح آب بندی و اطمینان از نصب و فشار صحیح واشر توجه داشت تا اثر آب بندی خوبی حاصل شود.

تگ های محبوب: مهر و موم سیستم خلاء نیمه هادی، آب بندی سیستم خلاء نیمه هادی چین تولید کنندگان، تامین کنندگان، کارخانه